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濟(jì)南高新區(qū):“山東造”離子注入機(jī)下線(xiàn)
濟(jì)南高新區(qū):“山東造”離子注入機(jī)下線(xiàn)

近日,濟(jì)南市艾恩半導(dǎo)體科技有限公司(以下簡(jiǎn)稱(chēng)“艾恩半導(dǎo)體”)首款自主研發(fā)的硅基中束流離子注入機(jī)成功下線(xiàn),這一突破為濟(jì)南高新區(qū)集成電路產(chǎn)業(yè)補(bǔ)鏈強(qiáng)鏈再添關(guān)鍵一環(huán),進(jìn)一步完善了芯片制造核心裝備的產(chǎn)業(yè)拼圖。

  作為山東省集成電路產(chǎn)業(yè)重要集聚區(qū),濟(jì)南高新區(qū)先后培育和引進(jìn)了涵蓋芯片設(shè)計(jì)、芯片制造、封裝測(cè)試等半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的相關(guān)企業(yè)。離子注入機(jī)作為芯片制造關(guān)鍵裝備之一,成為濟(jì)南高新區(qū)招引的目標(biāo)。該設(shè)備技術(shù)壁壘高,研發(fā)難度大、周期長(zhǎng),其工藝需精準(zhǔn)控制離子注入的劑量、角度、均勻性等參數(shù),精度要求達(dá)到納米級(jí),被譽(yù)為芯片的“微型電工師”,海外企業(yè)長(zhǎng)期占據(jù)該產(chǎn)品市場(chǎng)主導(dǎo)份額。

  為完善集成電路產(chǎn)業(yè)鏈條,補(bǔ)齊芯片制造設(shè)備關(guān)鍵短板,濟(jì)南高新區(qū)積極與原廣州市艾恩半導(dǎo)體科技有限公司開(kāi)展對(duì)接。該企業(yè)聚焦離子注入機(jī)的研發(fā)生產(chǎn),提供國(guó)產(chǎn)化替代及代工服務(wù),是國(guó)內(nèi)重要的離子注入機(jī)設(shè)備研制企業(yè)之一。為推動(dòng)項(xiàng)目落地,濟(jì)南高新區(qū)投資促進(jìn)部聯(lián)合魯信創(chuàng)投集團(tuán)、濟(jì)南財(cái)投基金集團(tuán)、山東產(chǎn)研創(chuàng)業(yè)投資有限公司等投資機(jī)構(gòu),出資參與該企業(yè)天使輪融資,為企業(yè)的前期發(fā)展注入了關(guān)鍵資金。依托山東產(chǎn)業(yè)配套優(yōu)勢(shì),該企業(yè)離子注入機(jī)所需近2萬(wàn)個(gè)零部件中,過(guò)半可在山東完成采購(gòu)和加工,顯著降低供應(yīng)鏈風(fēng)險(xiǎn)。2024年底,廣州市艾恩半導(dǎo)體科技有限公司將總部從廣州遷至濟(jì)南高新區(qū),正式更名為濟(jì)南市艾恩半導(dǎo)體科技有限公司。

  項(xiàng)目一經(jīng)落地,濟(jì)南高新區(qū)積極組織企業(yè)參加濟(jì)南市創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)大賽。憑借自身強(qiáng)大的技術(shù)實(shí)力和創(chuàng)新能力,艾恩半導(dǎo)體在大賽中脫穎而出并獲獎(jiǎng),更加堅(jiān)定了在濟(jì)南高新區(qū)創(chuàng)業(yè)發(fā)展的決心,也深切感受到了濟(jì)南高新區(qū)對(duì)高新技術(shù)企業(yè)的高度重視和大力支持。

  2025年4月,艾恩半導(dǎo)體在濟(jì)南高新區(qū)的研發(fā)與制造中心正式投產(chǎn)。該制造中心年產(chǎn)能達(dá)30臺(tái),有效填補(bǔ)了山東省在高端半導(dǎo)體裝備制造領(lǐng)域的空白,為國(guó)內(nèi)芯片產(chǎn)業(yè)鏈自主化注入了強(qiáng)勁動(dòng)能。艾恩半導(dǎo)體自主研發(fā)的首臺(tái)碳化硅高溫離子注入機(jī)在客戶(hù)端測(cè)試效果超出預(yù)期,目前已進(jìn)入小批量產(chǎn)階段。對(duì)標(biāo)國(guó)際領(lǐng)先技術(shù)水平的第二代碳化硅離子注入機(jī)正在緊鑼密鼓地研發(fā)生產(chǎn)過(guò)程中,有望于今年9月面世。

  未來(lái),濟(jì)南高新區(qū)將充分發(fā)揮產(chǎn)業(yè)資源優(yōu)勢(shì),協(xié)助解決艾恩半導(dǎo)體設(shè)備量產(chǎn)中的成本與交付難題,助力企業(yè)快速響應(yīng)客戶(hù)需求,為設(shè)備驗(yàn)證與產(chǎn)品應(yīng)用提供廣闊的市場(chǎng)空間。同時(shí)聯(lián)合區(qū)內(nèi)集成電路重點(diǎn)企業(yè)及科研院所,開(kāi)展前沿技術(shù)攻關(guān),助力企業(yè)突破關(guān)鍵核心技術(shù),全力推動(dòng)濟(jì)南高新區(qū)集成電路產(chǎn)業(yè)補(bǔ)鏈延鏈強(qiáng)鏈。

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